是否接受进口

接受进口

品牌

Bruker、KLA、KOSAKA

型号

Dektak Pro、P7、ET200A

技术规格及参数

1. 最大扫描长度≥180mm；2. 测试所允许的最大样品高度≥50mm；3. *垂直方向的扫描范围≥1000微米；4. *测试高度方向的重复性＜0.4nm（1微米的标准台阶）；5. 测试垂直分辨率≤0.1nm6. XY移动载物台，X≥150mm行程,Y≥150mm行程；7．样品台尺寸不小于8英寸，可360°自动旋转8. 探针压力：1-15mg范围内可连续调节，能精确控制探针压力，保证在不同力下不破坏样品。9. 系统具有超光滑平面,保证扫描基线稳定性10. 提供专用分析软件并终身免费升级11． 多次扫描分析≥15次12. *仪器采用成熟的LVDT传感器,保证仪器稳定性，数据重复性和可靠性13. *标配带有磁吸附自动更换探针附件工具，而不是固定在设备主机上14. 仪器具有三维扫描功能15. *配有薄膜应力测量功能16.具备测量10nm及以下厚度薄膜的能力

质保期

质保1年

售后要求

为保证售后服务质量，成交后设备必须提供制造厂家授权文件。中标人提供报修电话及联系人，招标人报修后，24小时内响应，72小时内提供远程诊断和指导。